5nm芯片无需光刻机!中国科技公司已申请制造专利 看完有点奇怪

5nm芯片无需光刻机!中国科技公司已申请制造专利 看完有点奇怪

9月15日,一家中国科技公司申请的“5纳米芯片制造的直接蚀刻方法”专利正式公布。 摘要显示,该发明涉及芯片设计及制造。这项发明的亮点在于,不用EUV光刻机或DUV光刻机,不需要光刻…

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